SIGMAKOKI西格瑪面精度保證反射鏡

的基板材質(zhì)，厚度和鍍膜條件，是高面型精度的反射鏡。

保證鍍膜后的面型精度為λ/10。

?面型精度（鍍膜后）比以往的多層電介質(zhì)膜平面反射鏡（TFM）更高。

?由于使用合成石英基板，基板變厚，基板的剛性也提高了。

?適用于紫外激光或YAG激光各波長的高反射率反射鏡，已有系列產(chǎn)品。

?也備有在支架上粘接反射鏡，保證面型精度的HTFM-MHG。（WEB參照/カタログコードW3003）

?承接制造產(chǎn)品目錄之外的其他尺寸或波長特性的反射鏡。請利用客戶問詢單。WEB參照/カタログコードW3800

?「波長特性數(shù)據(jù)」（僅供參考，EXCEL檔案格式）請參考【這里】。

注意

?產(chǎn)品中不附有保證面型精度數(shù)據(jù)。需要保證面型精度數(shù)據(jù)文件時(shí)，需要額外文件制作費(fèi)用。請至營業(yè)部門問詢。

?多層電解質(zhì)膜的反射率波長特性隨入射光束的偏光狀態(tài)變化。P偏光與S偏光相比，反射率變低，反射帶譜區(qū)變窄。

?技術(shù)指標(biāo)的反射率是用P偏光和S偏光的反射率的平均值來表示的。

?用于45°以外的入射角度時(shí)，反射率有可能降低。

?在設(shè)計(jì)波長以外的波長譜區(qū)使用時(shí)，反射率有可能降低。

激光損傷閾值2J/cm2

厚度 t11mm

鍍膜多層電介質(zhì)膜

表面質(zhì)量10?5

適用波長248nm

反射率＞99.2％

外徑 φDφ50mm

入射角度45°±3°

平行度＜3′

有效直徑外徑的80%

反面光學(xué)拋光

鍍膜后面型精度λ/10

SIGMAKOKI西格瑪面精度保證反射鏡