SIGMAKOKI西格瑪支架組合面精度保證反射鏡

把面精度保證反射鏡（HTFM）安裝在運(yùn)動反射鏡支架上，在不對反射鏡產(chǎn)生應(yīng)力的條件下用膠粘接固定，而且是帶調(diào)整機(jī)構(gòu)的高反射率反射鏡。

?嵌入粘接反射鏡后保證反射鏡的面型精度。

?反射鏡支架有高穩(wěn)定型（MHG-HS）和量產(chǎn)型（MHG-MP）兩種類型。

?這個產(chǎn)品可以使用在需要很高波面精度的光學(xué)系統(tǒng)或干涉儀中。

?量產(chǎn)型（MHG-MP）具備調(diào)整螺栓的鎖緊機(jī)構(gòu)。

?可以安裝立柱（RO-＊＊-＊＊：另售）（WEB參照/カタログコードW6052），或臺柱（PST-＊＊：另售）（WEB參照/カタログコードW6039）。

?關(guān)于反射率的波長特性，請確認(rèn)面型精度保證反射鏡（HTFM）的特性曲線。

WEB參照/カタログコードW3002

?「波長特性數(shù)據(jù)」（僅供參考，EXCEL檔案格式）請參考【這里】。

注意

?反射鏡面在支架安裝面前伸出2mm。

?產(chǎn)品中不附有保證面型精度數(shù)據(jù)。需要保證面型精度數(shù)據(jù)文件時，需要額外文件制作費(fèi)用。請至營業(yè)部門問詢。

?一旦取下粘接的反射鏡，則不能保證反射鏡的面型精度。

?支架或反射鏡受到強(qiáng)烈沖擊后，反射鏡的面型精度可能變壞。

?量產(chǎn)型（MHG-MP）支架的轉(zhuǎn)動中心在反射鏡外側(cè)（支架的支點）。

?在平面上固定高穩(wěn)定型（MHG-HS）反射鏡支架時，請使用安裝立柱平板（MHG-＊＊BPRO）。

?使用安裝立柱平板（MHG-＊＊BPRO）時，光軸將增高10mm。

鍍膜多層電介質(zhì)膜

表面質(zhì)量10?5

適用波長248nm

反射率＞99.2％

支架型號MHG-MP30

質(zhì)量0.12kg

主要材料鋁合金

外徑 φDφ30mm

調(diào)整范圍分辨率擺動±3°

調(diào)整范圍分辨率旋轉(zhuǎn)±3°

入射角度45°±3°

表面處理黑色陽極氧化

分辨率擺動約0.39°/周

分辨率旋轉(zhuǎn)約0.39°/周

有效直徑外徑的80%

反面光學(xué)拋光

可動軸數(shù)2軸

基板面型精度支架粘接后　λ/10

調(diào)整范圍分辨率擺動±2°

調(diào)整范圍分辨率旋轉(zhuǎn)±2°

入射角度45°±3°

表面處理黑色陽極氧化

分辨率擺動約0.26°/周

分辨率旋轉(zhuǎn)約0.26°/周

有效直徑外徑的80%

反面光學(xué)拋光

可動軸數(shù)2軸

基板面型精度支架粘接后　λ/10

SIGMAKOKI西格瑪支架組合面精度保證反射鏡